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特征
具软硬体垂直整合优势,采用高精密、高刚性之直驱马达,重复精度可达到±0.1mm。且回转半径小,大幅提升空间使用率。支持非径向取放功能,末端可再选配马达驱动之模组实现翻转功能。
应用
适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。
ERJ-40-P3 电路旋转接头(附气路型)
SK 系列 静音式单轴机器人
水冷式力矩电机
E1 系列伺服电机
直驱电机-DMS
XEG-16 电动夹爪
ERJ-30 旋转接头
DRA 系列
DSH-AH 型
DSC-CO 型
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